Analysis ntawm kev ua tau zoo xav tau ntawmtitanium cov hom phiajhauv kev lag luam sib txawv
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I. Cov kev ua tau zoo ntawm cov hom phiaj titanium
① Purity: Raws li ib qho ntawm cov kev qhia tseem ceeb ntawm cov khoom siv, purity muaj qhov cuam tshuam tseem ceeb rau kev ua haujlwm ntawm cov yeeb yaj kiab nyias. Hauv kev siv tswv yim, cov kev xav tau rau lub hom phiaj purity txawv ntawm kev lag luam mus rau kev lag luam. Piv txwv li, nyob rau hauv kev lag luam microelectronics, nrog kev nce ntxiv hauv silicon wafer loj thiab qhov tsis tu ncua ntawm txoj hlua txuas, qhov yuav tsum tau ua rau lub hom phiaj purity tseem nce ntxiv. Yav dhau los, 99.995% lub hom phiaj purity tuaj yeem ua tau raws li cov txheej txheem ntawm 0.35um IC, tab sis tam sim no qhov kev npaj ntawm 0.18um kab xav kom lub hom phiaj purity mus txog 99.999% lossis txawm tias 99.9999%.
② Impurity cov ntsiab lus: impurities nyob rau hauv lub hom phiaj khoom thiab oxygen thiab dej vapor nyob rau hauv lub pores yog lub ntsiab ntawm cov pa phem rau deposited films. Yog li ntawd, cov hom phiaj rau cov hom phiaj sib txawv muaj cov kev cai sib txawv rau cov ntsiab lus impurity. Piv txwv li, ntshiab aluminium thiab aluminium alloy lub hom phiaj siv nyob rau hauv kev lag luam semiconductor muaj cov kev cai tshwj xeeb rau cov ntsiab lus hlau alkali thiab cov ntsiab lus ntawm cov khoom siv hluav taws xob.
③ Ceev: Yuav kom txo tau cov pores nyob rau hauv lub hom phiaj khoom thiab txhim kho cov kev ua tau zoo ntawm sputtered zaj duab xis, lub hom phiaj yog feem ntau yuav tsum muaj ib tug ntau dua ntom ntom. Qhov ntom ntawm cov khoom siv lub hom phiaj tsis tsuas yog cuam tshuam rau tus nqi sputtering, tab sis kuj cuam tshuam rau cov khoom siv hluav taws xob thiab kho qhov muag ntawm cov yeeb yaj kiab. Tsis tas li ntawd, kev txhim kho qhov ceev thiab lub zog ntawm lub hom phiaj cov khoom tseem tuaj yeem ua rau nws zoo dua tiv thaiv cov thermal stress thaum lub sij hawm sputtering. Yog li ntawd, qhov ceev kuj yog ib qho ntawm cov kev ntsuas tseem ceeb ntawm cov khoom siv.
④ Cov qoob loo loj thiab cov qoob loo faib loj: Cov khoom siv lub hom phiaj feem ntau yog cov qauv polycrystalline, thiab cov nplej loj tuaj yeem nyob ntawm microns mus txog millimeters. Rau tib lub hom phiaj cov ntaub ntawv, qhov sputtering tus nqi ntawm lub hom phiaj nrog cov nplej zoo yog feem ntau sai dua li ntawm lub hom phiaj nrog coarse nplej; thiab cov thickness tis ntawm zaj duab xis tso los ntawm sputtering ntawm lub hom phiaj nrog qhov sib txawv me me ntawm cov nplej loj (cov khoom sib txawv) yog qhov sib txawv dua.
2. Purity yuav tsum tau rau titanium lub hom phiaj nyob rau hauv txawv industries
① Titanium lub hom phiaj siv nyob rau hauv kev sib xyaw circuits: Integrated circuits muaj siab purity siab heev rau titanium lub hom phiaj, feem ntau ntau dua 99.995% los xyuas kom meej cov kev ua tau zoo thiab stability ntawm cov yeeb yaj duab.
② Titanium lub hom phiaj siv nyob rau hauv lub vaj huam sib luag tiaj tus: Cov vaj huam sib luag tiaj tiaj muaj xws li cov kua siv lead ua kua, cov plasma zaub, cov khoom siv hluav taws xob, thiab cov khoom siv hluav taws xob. Cov lus qhia no feem ntau siv cov txheej txheem txheej txheej txheej los tso cov yeeb yaj kiab nyias thaum lub sijhawm tsim khoom. Ntawm lawv, titanium lub hom phiaj, raws li ib qho ntawm cov tseem ceeb sputtering lub hom phiaj, feem ntau yuav tsum muaj purity ntau dua 99.9%. Tsis tas li ntawd, titanium lub hom phiaj tseem tuaj yeem siv dav hauv cov khoom siv thev naus laus zis xws li hluav taws xob, cov ntaub ntawv kev lag luam, kho kom zoo nkauj hauv tsev, thiab kev tsim kho tsheb iav. Nyob rau hauv cov kev lag luam no, titanium lub hom phiaj yog tsuas yog siv rau txheej txheej sib xyaw ua ke, cov vaj huam sib luag tiaj tus, los yog ua kom zoo nkauj thiab iav txheej. Los ntawm kev ua kom zoo dua qhov kev ua tau zoo thiab purity ntawm titanium lub hom phiaj, cov kev xav tau ntawm kev lag luam sib txawv rau kev ua yeeb yaj kiab thiab kev ruaj ntseg tuaj yeem ua tiav.
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